溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
化学名称 | 化学符号 | 纯度(%) | 熔点(℃) | 密度(g/cm³) | 产品状态 |
银靶 | Ag | 4N-5N | 961 | 10.49 | 靶材 |
铝靶 | Al | 4N-6N | 660 | 2.70 | 靶材 |
金靶 | Au | 4N-5N | 1062 | 19.32 | 靶材 |
硼靶 | B | 2N-3N | 2300 | 2.31 | 靶材 |
铋靶 | Bi | 5N-6N | 271.4 | 9.79 | 靶材 |
碳靶 | C | 4N | 3652 | 2.28 | 靶材 |
镉靶 | Cd | 5N-7N | 321.1 | 8.65 | 靶材 |
钴靶 | Co | 4N | 1495 | 8.90 | 靶材 |
铬靶 | Cr | 3N-4N | 1890 | 7.19 | 靶材 |
铜靶 | Cu | 3N-6N | 1083 | 8.92 | 靶材 |
铁靶 | Fe | 3N-4N | 1535 | 7.86 | 靶材 |
锗靶 | Ge | 5N-6N | 937 | 5.35 | 靶材 |
铟靶 | In | 5N-6N | 157 | 7.30 | 靶材 |
镁靶 | Mg | 4N | 651 | 1.74 | 靶材 |
锰靶 | Mn | 3N | 1244 | 7.44 | 靶材 |
钼靶 | Mo | 4N | 2617 | 10.22 | 靶材 |
铌靶 | Nb | 4N | 2468 | 8.55 | 靶材 |
镍靶 | Ni | 3N-5N | 1453 | 8.90 | 靶材 |
铅靶 | Pb | 4N-6N | 328 | 11.34 | 靶材 |
钯靶 | Pd | 3N-4N | 1555 | 12.02 | 靶材 |
铂靶 | Pt | 3N-4N | 1774 | 21.50 | 靶材 |
铑靶 | Rh | 3N5 | 1955 | 12.50 | 靶材 |
钌靶 | Ru | 3N5 | 2310 | 12.30 | 靶材 |
锑靶 | Sb | 5N-7N | 631 | 631 | 靶材 |
钪靶 | Sc | 3N | 1814 | 2.98 | 靶材 |
硒靶 | Se | 5N-6N | 217 | 4.28 | 靶材 |
硅靶 | Si | 5N-7N | 1410 | 2.42 | 靶材 |
锡靶 | Sn | 5N-6N | 232 | 7.75 | 靶材 |
钽靶 | Ta | 4N | 2996 | 16.60 | 靶材 |
碲靶 | Te | 4N-6N | 425 | 6.25 | 靶材 |
钛靶 | Ti | 4N-5N | 1675 | 4.50 | 靶材 |
钒靶 | V | 3N | 1919 | 6.11 | 靶材 |
钨靶 | W | 4N | 3410 | 19.30 | 靶材 |
钇靶 | Y | 3N | 1522 | 4.47 | 靶材 |
锌靶 | Zn | 4N-6N | 419 | 7.14 | 靶材 |
锆靶 | Zr | 4N | 1477 | 6.40 | 靶材 |
铪靶 | Hf | 2N5-3N | 2233 | 13.31 | 靶材 |
铼靶 | Re | 3N5 | 3180 | 21.02 | 靶材 |
铱靶 | Ir | 3N5 | 2410 | 22.56 | 靶材 |
镧靶 | La | 3N | 921 | 6.17 | 靶材 |
铈靶 | Ce | 3N | 799 | 6.70 | 靶材 |
钐靶 | Sm | 4N | 1072 | 7.54 | 靶材 |
铕靶 | Eu | 4N | 822 | 5.26 | 靶材 |
钆靶 | Gd | 3N | 1311 | 7.90 | 靶材 |
铽靶 | Tb | 3N | 3230 | 8.22 | 靶材 |
镝靶 | Dy | 4N | 1412 | 8.55 | 靶材 |
铒靶 | Er | 4N | 1522 | 8.80 | 靶材 |
镱靶 | Yb | 3N | 824 | 6.98 | 靶材 |
镥靶 | Lu | 4N | 1663 | 9.84 | 靶材 |